SpectraFilm S01 透过率测试仪

半导体材料全覆盖，智能易用，适配产线质控

SpectraFilm S01

SpectraFilm S01采用分光光度法，通过测量入射光与透射光强度，精确计算材料在不同波长下的透光率 T%、反射率 R%、吸光度 A。专为半导体晶圆、光刻胶、掩膜版、封装玻璃、SiC/GaN 外延片、光学薄膜等提供透光性能定量检测，用于工艺监控、来料检验、研发表征。

产品优势

宽光谱高精度测量

覆盖 UV-VIS-NIR 多波段

波长分辨率高，测量稳定可靠

透过率精度高，重复性好

半导体材料全覆盖

硅片、碳化硅 SiC、氮化镓 GaN

光刻胶、减反膜、钝化膜、介质膜

石英玻璃、掩膜版、封装盖板、滤光片

非接触无损检测

不划伤晶圆、不污染表面

适合洁净室环境使用

可测薄样、柔性材料、小尺寸芯片

智能易用，适配产线质控

一键测量，自动生成光谱曲线

支持多点 Mapping、均匀性分析

数据导出 Excel/PDF，可对接 SPC/MES

应用场景

晶圆工艺：硅片 / 减薄硅片 / SiC/GaN 外延片透过率检测

光刻工艺：光刻胶透光率、曝光波长透过特性

薄膜工艺：减反膜、增透膜、氧化硅 / 氮化硅膜层光学性能

先进封装：玻璃盖板、WLP 盖板、红外窗口透过率

光电器件：LED / 激光器 / 探测器芯片透光与吸收特性