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SEAL-GE 光谱椭偏仪

                                 SEAL-GE 光谱椭偏仪

SEAL系列光谱椭偏仪通过椭偏参数、透射/反射等参数测量,实现各种单层到多层的各向同性/各向异性薄膜膜厚、折射率(n)、消光系数(k)及介电函数(ε1, ε2)快速表征。覆盖193-1700nm波长范围,涵盖深紫外、可见及近红外光谱。  其高精度、高效率的测量能力,使其广泛应用于半导体制造、光学镀膜、新能源材料等领域。