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Altas-100 应力检测仪

                                                                                                     Altas-100 应力检测仪

Altas-100具备薄膜应力及三维翘曲（平整度）检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发、玻璃及陶瓷晶圆生产，尤其具有测量整面翘曲曲 率分布的能力。

上一个：SEAL-GE 光谱椭偏仪