OWL-100系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析、台阶测量和粗糙度质量评价。
秒级内实现3D纳米级高精度微观测量
OWL-100
非接触式3D表面形貌测量系统，符合IS0-4217、IS0-25178标准的粗糙度与3D形貌测量。从产品研发到质量控制，OWL-100系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。
产品优势
高精度：使用垂直干涉扫描（WLI）与高精度的相位干涉（ISI）
超高垂直分辨率：实现非接触式亚纳米级精度测量
高效率：大区域三维轮廓测量（数微米级测量区域至百毫米级测量区域）
高清晰：大区域超景深成像
应用场景
半导体晶圆
台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
缺陷复检：3D缺陷表面形貌，TGV及关键尺寸
薄膜厚度：亚微米级厚度测量
其他加工工艺
粗糙度
平整度
表面质量
