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Eplec-R&RC 方阻测试仪
Eplec-RC电阻率测试系统,在晶圆的封装测试阶段提供一整套完整的电阻率 测试和解决方案。系统采用四探针(4PP法) ,通过四个等间距的探针与被 测材料接触, 以测量材料的电阻率、方块电阻等参数。
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