套刻精度量测设备
UltraOVL F9x 面向先进封装的套刻精度量测系统
UltraOVL F9x基于成像技术为逻辑和先进存储器设计节点加快促进和稳定生产提供准确的产品套刻误差反馈。
产品优势
高分辨率成像技术，实现亚纳米级套刻精度测量
纳米级分辨率可调波长保障全面覆盖多种工艺需求的多样生产模式
