PLSINTEC
膜厚及关键尺寸

膜厚及关键尺寸

Film thickness and key dimensions

Spectroscopic Ellipsometer

光谱椭偏仪

PRODUCT

产品简介

SEAL 系列光谱椭偏仪采用高精度偏振光测量技术,可获得薄膜厚度、折射率、消光系数等关键参数,适用于半导体、光电与先进材料研发及量产检测。

光谱椭偏仪

Mueller Matrix Spectroscopic Ellipsometer

穆勒矩阵光谱椭偏仪

PRODUCT

产品简介

SEAL-ED 采用穆勒矩阵椭偏测量技术,实现对光学各向异性薄膜、复杂结构和微区样品的精准分析,满足高端研发与复杂工艺控制需求。

穆勒矩阵光谱椭偏仪

Film Thickness Measurement Instrument

膜厚测量仪

PRODUCT

产品简介

SpectraFilm S10 采用综合色学测量技术,适用于薄膜厚度、折射率与光学常数的快速检测,为工艺开发、来料检验和量产质量控制提供可靠数据支持。

膜厚测量仪

Transmittance Measuring Instrument

透过率测量仪

PRODUCT

产品简介

SpectraFilm S01 采用分光光度法,通过测量入射光与透射光强度,准确计算不同波长下的透过率、反射率与吸光度,适用于晶圆、光学薄膜及相关材料的性能检测。

透过率测量仪

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