半导体材料与衬底
Product Overview
普雷赛斯（PLSINTEC）在半导体材料与衬底领域的产品组合涵盖衬底缺陷扫描复检、薄膜及衬底参数量测、工艺数据智能管理、衬底应力翘曲质检、器件残余应力与翘曲质检，助力衬底厂商在衬底研发、加工阶段完成全流程质量管控。半导体材料与衬底厂商可依托普雷赛斯全套检测设备加快新材料配方迭代、压缩衬底量产验证周期，稳定量产高均匀度、低缺陷的高品质衬底，全面提高衬底产线良率与整体盈利水平。
产品系列
SEMICONDUCTOR MATERIALS & SUBSTRATES
