White Light Interferometer Series
宏观及微观形貌
Wafer Thickness and Topography Measurement System
晶圆厚度及形貌测量仪
PRODUCT
产品简介
APE-A1/2 基于纳米级光学测量技术，集成高精度运动模组及晶圆定位模块，可兼容 2 至 12 寸晶圆的厚度及形貌高精度测量。
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White Light Interferometer Series
Wafer Thickness and Topography Measurement System
APE-A1/2 基于纳米级光学测量技术，集成高精度运动模组及晶圆定位模块，可兼容 2 至 12 寸晶圆的厚度及形貌高精度测量。
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