Spectroscopy-Based Wafer Thin Film Stress and Warpage Tester
光谱法晶圆薄膜应力及翘曲检测仪
PRODUCT
产品简介
Atlas-100 具备薄膜应力及三维翘曲（平整度）检测功能，适用于半导体晶圆生产、半导体制程工艺开发及玻璃、陶瓷晶圆生产。
应力
Laser-Based Wafer Thin Film Stress and Warpage Tester
激光法晶圆薄膜应力及翘曲检测仪
PRODUCT
产品简介
采用激光测量方案，对晶圆薄膜应力与翘曲进行稳定、快速检测，为研发和量产工艺控制提供数据支持。
关注 PLSINTEC 公众号
点击右侧微信图标，扫描二维码，关注 PLSINTEC 公众号，与我们的专家沟通，了解仪器的具体应用。