Non-Contact Resistivity Measurement System
非接触电阻率测试仪
PRODUCT
产品简介
Eplec-R 电阻率测试系统基于涡流法测试技术，可实现对纳米级薄膜电阻率、方阻等核心电学参数的无损精准测量。
方阻
Wafer Probe Sheet Resistance Measurement System
晶圆探针方阻测试仪
PRODUCT
产品简介
Eplec-RC 采用四探针测试方案，为晶圆封装测试及材料研究提供完整的电阻率和方阻测试解决方案。
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