OWL-100 白光干涉仪
秒级内实现3D纳米级高精度微观测量
非接触式3D表面形貌测量系统，符合ISO-4217、ISO-25178标准的粗糙度与3D形貌测量。从产品研发到质量控制，OWL-100系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。
高精度：使用垂直干涉扫描（WLI）与高精度的相位干涉（PSI）
超高垂直分辨率：实现亚纳米级精度测量
高效率：大区域三维轮廓测量（数微米级测量区域至百毫米级测量区域）
高清晰：大区域超景深成像
稳定性：产线效率与稳定性优势
产品优势
高精度
使用垂直干涉扫描（WLI）与高精度的相位干涉（PSI）
超高垂直分辨率
实现亚纳米级精度测量
高效率
大区域三维轮廓测量（数微米级测量区域至百毫米级测量区域）
高清晰
大区域超景深成像
稳定性
产线效率与稳定性优势
应用场景
半导体研发
3C 电子
新能源
精密光学
精密加工
MEMS 微纳器件
背光模组
薄膜涂层
相关新闻与资讯
