UltraINSP AP-Bump
UltraINSP AP-Bump 融合极速 2D 线扫与高精度 3D 光学量测技术,面向高密度 Bump 阵列量检测。
极速2D线扫面阵成像高精度白光三角干涉3D光谱共聚焦
UltraINSP AP-Bump 融合极速 2D 线扫与高精度 3D 白光干涉/光谱共聚焦技术,专为2.5D/3D异构集成与倒装封装中的高密度Bump阵列开发。解决先进封装最关心的微凸块绝对高度提取与全晶圆共面性挑战,实现“单片千万级Bump全检”。
产品优势
微凸块三维量测 共面性自动分析 2D+3D一体化检测 大批量数据实时处理
应用场景
晶圆级封装(WLP)
Flip Chip及先进封装
HBM、CoWoS等异构集成

