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全自动微凸块共面性与高度量测系统

面向高密度 Bump 阵列量检测

UltraINSP AP-Bump

UltraINSP AP-Bump 融合极速 2D 线扫与高精度 3D 光学量测技术,面向高密度 Bump 阵列量检测。

极速2D线扫面阵成像高精度白光三角干涉3D光谱共聚焦

UltraINSP AP-Bump 融合极速 2D 线扫与高精度 3D 白光干涉/光谱共聚焦技术,专为2.5D/3D异构集成与倒装封装中的高密度Bump阵列开发。解决先进封装最关心的微凸块绝对高度提取与全晶圆共面性挑战,实现“单片千万级Bump全检”。

产品优势

微凸块三维量测 共面性自动分析 2D+3D一体化检测 大批量数据实时处理

应用场景

晶圆级封装(WLP)

Flip Chip及先进封装

HBM、CoWoS等异构集成

UltraINSP AP-Bump