UltraOVL F9x

UltraOVL F9x 实现键合与异构集成工艺中的高精度套刻误差量测。

UltraOVL F9x 基于先进的成像与衍射套刻测量技术，专为晶圆制造中多层图形对准精度的关键控制而设计。系统支持多种套刻标记类型的自动识别与测量，以亚纳米级重复精度捕捉套刻误差，助力先进节点及3D结构工艺的良率提升与反馈控制。