UltraCD F7x

UltraCD F7x 实现多种半导体工艺段关键尺寸的高精度量测。

UltraCD F7x全自动光学关键尺寸量测系统依托高精度光学膜厚量测平台，实现对多种半导体工艺段中的关键尺寸的高精度量测。设备支持ADI、AEI等关键工艺环节，可测CD、SWA、Height/Depth等几何参数。