UltraFilm F3x

UltraFilm F3x 集成超宽光谱与高精度光学解算能力，实现全材质薄膜的高可靠性量测。

UltraFilm F3x 全材质膜厚量测系统集成了超高精度的光学椭圆偏振和光谱反射检测技术，用于管理全系列薄膜制程中的测量挑战，实现高可靠性测量。