PLSINTEC
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全自动2D宏观缺陷检测系统

UltraINSP SP10 结合多通道照明与智能算法实现高效宏观缺陷检测。

UltraINSP SP10

UltraINSP SP10 结合多通道照明与智能算法实现高效宏观缺陷检测。

AI缺陷识别高速检测宏观缺陷检测

UltraINSP SP10 面向 8/12 英寸晶圆出货(OQC)。设备采用多通道分时频闪打光技术,专抓大面积划伤、水渍及涂胶拖尾。通过重型 AI 模型强效过滤假缺陷,彻底替代人工显微镜,帮客户实现“提速降本”。

产品优势

晶圆宏观缺陷检测 AI智能缺陷识别 多通道高速检测 自动化在线检测

应用场景

晶圆OQC终检

晶圆表面质量检测

MEMS及功率器件检测

UltraINSP SP10