UltraINSP SP10
UltraINSP SP10 结合多通道照明与智能算法实现高效宏观缺陷检测。
AI缺陷识别高速检测宏观缺陷检测
UltraINSP SP10 面向 8/12 英寸晶圆出货(OQC)。设备采用多通道分时频闪打光技术,专抓大面积划伤、水渍及涂胶拖尾。通过重型 AI 模型强效过滤假缺陷,彻底替代人工显微镜,帮客户实现“提速降本”。
产品优势
晶圆宏观缺陷检测 AI智能缺陷识别 多通道高速检测 自动化在线检测
应用场景
晶圆OQC终检
晶圆表面质量检测
MEMS及功率器件检测

