UltraINSP SP-MV4
UltraINSP SP-MV4 面向 VCSEL、Mini LED 等器件完成晶粒四面缺陷检测。
四面多种缺陷检测端面自动对焦模块化设计零伤损芯粒保护
UltraINSP SP-MV4 是面向 VCSEL、Mini LED、化合物半导体功率器件的晶粒四面缺陷检测设备，可完成芯片正反及双侧端面全维度缺陷识别。依托深度学习算法实现低误判与高精度高速对焦，吸嘴与顶针毫秒联动无损拾取芯片，模块化结构支持产品、检测项目快速切换，是提升封测制程稳定性与良率的核心检测设备。
产品优势
四面全覆盖检测能力 微米级高精度缺陷识别 智能化自动对焦与检测分析 柔性化模块设计与高兼容性
应用场景
VCSEL光电芯片
Micro Chip缺陷筛选
化合物半导体功率器件
