UltraINSP SP8
UltraINSP SP8 提供光电图形晶圆高速高灵敏度缺陷检测。
光刻/刻蚀图形缺陷微观表面异常亚微米级分辨力
UltraINSP SP8是一款面向成熟制程与规则图形的高分辨率微观缺陷检测系统。专攻图像传感器CIS、功率芯片等相对规则的图形比对。为客户提供极具性价比的光刻/刻蚀过程质控方案。
产品优势
晶圆图形缺陷自动检测 Die-to-Die图像比对 亚微米级缺陷识别 晶圆过程监控与良率分析
应用场景
CMOS图像传感器制造
功率器件晶圆检测
晶圆制造在线过程控制
