UltraElectric R1

系统采用四探针（4PP法），通过四个等间距的探针与被测材料接触，以测量材料的电阻率、方块电阻等参数。

四探针(4PP法)金属薄膜均一性离子注入工艺表征

UltraElectric R1自动电阻率测试系统，在晶圆的封装测试阶段提供一整套完整的电阻率测试和解决方案。系统采用四探针（4PP法），通过四个等间距的探针与被测材料接触，以测量材料的电阻率、方块电阻等参数。