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全自动非接触电阻率测试系统

UltraElectric R2系统基于涡流法测试技术

UltraElectric R2

UltraElectric R2系统基于涡流法测试技术,可实现对纳米级薄膜电阻率、方阻等核心电学参数的无损精准测量

涡流法测试技术锭片一体式量测离子注入工艺表征

UltraElectric R2系统基于涡流法测试技术,可实现对纳米级薄膜电阻率、方阻等核心电学参数的无损精准测量,满足从实验室级材料研究到量产线工艺监控的全场景需求。

产品优势

自动晶圆加载和对准模块 Wafer ID字符识别模块 历史数据存储与查询模块 SECS/GEM通讯模块 自动寻边调整模块 工艺模型与检测配方匹配系统

应用场景

晶圆加工

研发及其他应用

金属沉积

柔性衬底表征

激光退火表征

UltraElectric R2