全材质薄膜厚度与光学参数量测
Multi-Material Film & Optical-Parameter Metrology
Fully-Automatic Universal-Material Film Thickness & CD Inspection System
全自动全材质膜厚及关键尺寸量测系统
产品简介
UltraFilm F3x 集成超宽光谱与高精度光学解算能力，实现全材质薄膜的高可靠性量测。
Fully-Automatic Dielectric-Film Metrology System
全自动介质薄膜量测系统
产品简介
UltraFilm F3 采用高精度宽光谱椭偏技术，支持多类介质薄膜光学参数量测。
Fully-Automatic Photoresist-Film Metrology System
全自动光阻膜量测系统
产品简介
UltraFilm F2 专为半导体光刻工艺设计，集成高精度光谱反射与薄膜解析算法。
