晶圆图形与表面缺陷检测 (AOI)
Wafer Pattern & Surface Defect Inspection
Fully Automatic Bright/Dark Field Patterned Wafer Defect Inspection System
全自动明暗场图形化晶圆缺陷检测系统
产品简介
UltraINSP SP8是一款面向成熟制程与规则图形的高分辨率微观缺陷检测系统。专攻图像传感器CIS、功率芯片等相对规则的图形比对。为客户提供极具性价比的光刻/刻蚀过程质控方案。
Fully-Automatic 2D Macro-Defect Inspection System
全自动2D宏观缺陷检测系统
产品简介
UltraINSP SP8是一款面向成熟制程与规则图形的高分辨率微观缺陷检测系统。专攻图像传感器CIS、功率芯片等相对规则的图形比对。为客户提供极具性价比的光刻/刻蚀过程质控方案。
Fully-Automatic 2D & 3D AOI Defect Inspection System
全自动2D&3D AOI缺陷检测系统
产品简介
UltraINSP SP20x 面向先进封装与高阶晶圆出货检，设备集成 2D&3D宏观缺陷检测，一举解决先进封装最关心的探针深度、透明膜厚及宏观翘曲等三维难题，实现“一机多用”。
