晶圆电学性能参数量测
Wafer Electrical Parameter Metrology
Fully Automatic Wafer Probe Sheet Resistance Measurement System
全自动晶圆探针方阻测试系统
产品简介
UltraElectric R1自动电阻率测试系统，在晶圆的封装测试阶段提供一整套完整的电阻率测试和解决方案。系统采用四探针（4PP法），通过四个等间距的探针与被测材料接触，以测量材料的电阻率、方块电阻等参数。
Fully Automatic Non-Contact Resistivity Measurement System
全自动非接触电阻率测试系统
产品简介
UltraElectric R2系统基于涡流法测试技术，可实现对纳米级薄膜电阻率、方阻等核心电学参数的无损精准测量，满足从实验室级材料研究到量产线工艺监控的全场景需求。
